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地址:長沙市岳麓區(qū)天馬路科教新村5區(qū)三棟304(大學城辦事處)
型號:OTF-1100X-15-III
產品概述:OTF-1100X-15-III是一款通過CE認證的三溫區(qū)管式爐,采用15英寸石英爐管及不銹鋼密封法蘭(安裝有不銹鋼截止閥和機械壓力表)。爐體設計為電動開啟式。三個溫區(qū)獨立控制,可設置30段升降溫曲線,帶有超溫和短偶保護,控溫精度為+/-0.5 oC。此款設備廣泛應用于各種材料在真空或氣氛保護環(huán)境下的熱處理。
| 型號 |
OTF-1100X-15-III |
| 爐體結構 |
? 雙層殼體結構,并帶有風冷系統(tǒng)
? 采用氧化鋁纖維作為爐膛材料
? 加熱元件:SiC棒
? 設備中配有2個氧化鋁管堵,以保證爐膛內部溫度均勻性(爐體加熱前,管堵必須塞入到爐管內部)
? 此管式爐可作為退火或擴散管式爐(6英寸或8英寸晶片可用特殊石英支架裝載)
? 電動開啟式設計,使得用戶操作更加簡便
結構圖氧化鋁管堵晶片裝載電動開啟
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| 加熱區(qū) |
? 總加熱區(qū)長度1000mm
? 三個加熱區(qū): 330 mm + 330 mm + 330mm (12" per zone)
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| 工作溫度 |
? 最高工作溫度1100℃
? 最高加熱速率:10℃/min
? 加熱元件:SiC棒(36根)
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| 溫控系統(tǒng) |
控溫精度為+/-0.5℃ |
| 爐管 |
? 15英寸高純石英爐管:尺寸:400mm OD. x 388mm ID. x 1860mm L
? 注意:石英爐管易碎,操作需謹慎
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| 真空密封&法蘭 |
? 一對不銹鋼真空密封法蘭(鉸鏈式),4個硅膠密封圈,可使爐管內真空度達到10^-3torr(采用機械泵抽真空)
? 左端法蘭:安裝有不銹鋼針閥,Φ6.35的進氣口
? 右端法蘭:KF40真空泵接口Φ6.35鎧裝接口(用于熱偶插入到爐管內,測量爐管內溫度和進行溫度校準)
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| 可選 |
? 此管式爐需定期校準,以保證溫度的準確性和均勻性,我們可提供簡單的校準工具:
·1根1200mm的K型鎧裝熱偶
·1個Omega溫度校準儀表
·此型號管式爐只可選用機械泵,且最低真空度只能夠抽到-0.05MPa,否則可能造成爐管損傷
·4'' ~ 8'' 晶片石英支架
? 可與手套箱系統(tǒng)聯(lián)用,實現(xiàn)氧敏感性材料的燒結制備
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| 電壓 |
? 三相380V,50/60 Hz |
| 額定功率 |
? 20KW |
| 產品尺寸 |
? 2300L x 1500W x 1400 H mm
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| 凈重 |
? 300kg |
| 質保期 |
? 一年質保期,終身維護(不包含爐管,加熱元件和密封圈) |
| 質量認證 |
? CE認證 ? 所有電器元件(輸入電源大于24V)都通過了UL/MET/CSA |
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