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地址:長沙市岳麓區(qū)天馬路科教新村5區(qū)三棟304(大學城辦事處)
2通道ALD控制單元
ALD回轉(zhuǎn)爐系統(tǒng)
雙通道ALD管式爐系統(tǒng)
大面積雙管石墨烯生長
滑動式RTP快速退火爐
單管滑動快速加熱冷卻
1200℃雙管三溫區(qū)
1200℃雙管滑動式四通
1200℃三溫區(qū)HPCVD系
1100℃雙管三溫區(qū)管式
微型PECVD系統(tǒng)
等離子增強卷對卷線材
卷對卷石墨烯制備管式
小型PECVD管式爐系統(tǒng)
小型滑動PECVD管式爐
雙爐體滑動PECVD系統(tǒng)
帶有預熱系統(tǒng)的滑動PE
滑動式雙溫區(qū)PECVD系
1200℃等離子增強HPCV
1200℃等離子增強HPCV
三溫區(qū)1500℃ PECVD系